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キーエンス 超深度形状測定レーザー顕微鏡構成 一、 コントロールユニット VK-8500 二, 顕微鏡部 VK-8510 三、 ディスプレイ Fujitsu VL151VAW (1024x768) CRTコネクター:アナログRGB, ミニD-SUV15p USBハブ搭載 四、 対物レンズ: 10x、20x、50x、100x仕様 : 平面計測、 三次元形状測定 断面形状 粗さ測定 膜厚、段差 透明膜は三層まで可オプション 対物レンズ モニター 、各種顕微鏡等
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